etit5019-01a: Semiconductor Technolgy (Semiconductor Technolgy (L)) (080120)- Dozent/in
- Prof. Dr. rer. nat. Fabian Lofink
- Angaben
- Vorlesung, 2 SWS, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 5
Praesenzveranstaltung, für ERASMUS-/Austauschstudierende geeignet, Unterrichtssprache Englisch
Zeit und Ort: Fr 13:15 - 14:45, KS2/Geb.F - SR-I
vom 14.4.2024 bis zum 14.7.2024
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WPFL ETIT-MA ab 1 (ECTS-Credits: 5)
WPFL WiIng-ETIT-MA ab 1 (ECTS-Credits: 5)
- Inhalt
- Einführung in die Grundlagen der Halbleitertechnologien mit deren Herstellungsprozessen, insb.:
1. Herstellung Si-Wafer
2. Lithographie (Prozesse für Kontakt-, Stepper-, Immersionsbelichter)
3. Dotierverfahren (Diffusion, Implantation)
4. Oxidation (Nass, trocken)
5. Ätztechniken (Nass, trocken, Endpunktdetektion)
6. Deposition (PVD und CVD)
7. Metallisierung und Kontakte (Schottky, Mehrlagen- und Durchkontaktierung, CMP)
8. Waferreinigung (Standardprozesse)
9. MOS-Technologien (Einkanal, CMOS)
10. PowerMOS
11. Hochintegration (LOCOS, Durchbruchmechanismen, Selbstjustage, SOI)
12. Backend-Prozesse (Grinden, Sägen, Bond- und Befestigungstechniken)
13. Spezielle Verfahren zur Herstellung von Solarzellen
- Empfohlene Literatur
- 1) U. Hilleringmann; Silizium-Halbleitertechnologien, Teubner, 4. Aufl.
2) Widmann/Mader/Friedrich; Technologie hochintegrierter Schaltungen; Springer, 2. Aufl.
3) Tietze/Schenk; Halbleiter- Schaltungstechnik; Springer, 13. Aufl.
4) Th. Giebel; Grundlagen der CMOS-Technologie; Teubner, 1. Aufl.
5) M. Madou; Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2. Aufl.
6) F. Thuselt; Physik der Halbleiterbauelemente; Springer, 1. Aufl.
7) U. Hilleringmann; Mikrosystemtechnik; Teubner, 1. Aufl.
- Zusätzliche Informationen
- Erwartete Teilnehmerzahl: 15
etit5019-01a: Semiconductor Technolgy (Exercise) (Semiconductor Technolgy (E)) (080121)- Dozent/in
- Prof. Dr. rer. nat. Fabian Lofink
- Angaben
- Übung, 1 SWS, ECTS-Studium
Praesenzveranstaltung, für ERASMUS-/Austauschstudierende geeignet, Unterrichtssprache Englisch, ECTS: see lecture
Zeit und Ort: Fr 15:00 - 15:45, KS2/Geb.F - SR-I
vom 14.4.2024 bis zum 14.7.2024
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WPFL ETIT-MA ab 1
WPFL WiIng-ETIT-MA ab 1
- Zusätzliche Informationen
- Erwartete Teilnehmerzahl: 15
|
|
