Teaching

The professors and senior scientists of the department of marine geodynamics teach at Christian-Albrechts-University of Kiel. Their lectures are part of the undergraduate course Physics of the Earth System and the graduate courses Master of Geophysics and Master of Marine Geosciences. More information is available at https://www.ifg.uni-kiel.de/en/studies. We offer MSc and BSc thesis supervision. Please get in touch if you would like to learn more about possible thesis projects. Either check with the most appropriate researcher or with Heidrun Kopp (hkopp(at)geomar.de) or Christian Berndt (cberndt(at)geomar.de).

 

UnivIS
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Semester: SS 2024 

etit5019-01a: Semiconductor Technolgy (Semiconductor Technolgy (L)) (080120)

Dozent/in
Prof. Dr. rer. nat. Fabian Lofink

Angaben
Vorlesung, 2 SWS, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 5
Praesenzveranstaltung, für ERASMUS-/Austauschstudierende geeignet, Unterrichtssprache Englisch
Zeit und Ort: Fr 13:15 - 14:45, KS2/Geb.F - SR-I
vom 14.4.2024 bis zum 14.7.2024

Studienfächer / Studienrichtungen
WPFL ETIT-MA ab 1 (ECTS-Credits: 5)
WPFL WiIng-ETIT-MA ab 1 (ECTS-Credits: 5)

Inhalt
Einführung in die Grundlagen der Halbleitertechnologien mit deren Herstellungsprozessen, insb.:
1. Herstellung Si-Wafer
2. Lithographie (Prozesse für Kontakt-, Stepper-, Immersionsbelichter)
3. Dotierverfahren (Diffusion, Implantation)
4. Oxidation (Nass, trocken)
5. Ätztechniken (Nass, trocken, Endpunktdetektion)
6. Deposition (PVD und CVD)
7. Metallisierung und Kontakte (Schottky, Mehrlagen- und Durchkontaktierung, CMP)
8. Waferreinigung (Standardprozesse)
9. MOS-Technologien (Einkanal, CMOS)
10. PowerMOS
11. Hochintegration (LOCOS, Durchbruchmechanismen, Selbstjustage, SOI)
12. Backend-Prozesse (Grinden, Sägen, Bond- und Befestigungstechniken)
13. Spezielle Verfahren zur Herstellung von Solarzellen

Empfohlene Literatur
1) U. Hilleringmann; Silizium-Halbleitertechnologien, Teubner, 4. Aufl.
2) Widmann/Mader/Friedrich; Technologie hochintegrierter Schaltungen; Springer, 2. Aufl.
3) Tietze/Schenk; Halbleiter- Schaltungstechnik; Springer, 13. Aufl.
4) Th. Giebel; Grundlagen der CMOS-Technologie; Teubner, 1. Aufl.
5) M. Madou; Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2. Aufl.
6) F. Thuselt; Physik der Halbleiterbauelemente; Springer, 1. Aufl.
7) U. Hilleringmann; Mikrosystemtechnik; Teubner, 1. Aufl.

Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 15


etit5019-01a: Semiconductor Technolgy (Exercise) (Semiconductor Technolgy (E)) (080121)

Dozent/in
Prof. Dr. rer. nat. Fabian Lofink

Angaben
Übung, 1 SWS, ECTS-Studium
Praesenzveranstaltung, für ERASMUS-/Austauschstudierende geeignet, Unterrichtssprache Englisch, ECTS: see lecture
Zeit und Ort: Fr 15:00 - 15:45, KS2/Geb.F - SR-I
vom 14.4.2024 bis zum 14.7.2024

Studienfächer / Studienrichtungen
WPFL ETIT-MA ab 1
WPFL WiIng-ETIT-MA ab 1

Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 15

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